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真空镀膜设备清洗处理方法

        真空镀膜机使用一段时间都是要进行保养和清洗,方便后期能顺利的镀出优质的镀膜产品,减少不必要的故障发生。清洗环节做的好不好,直接影响到后期镀出产品膜层的质量和生产效率,真空镀膜机清洗环节在使用环节中,启着至关重要的作用。肯定有很多小伙伴会疑惑,那么真空镀膜机该怎么清洗呢,有哪些方法呢?下面汇成真空小编为大家详细介绍一下三种真空镀膜机的清洗部位及方法。

真空镀膜机

       (1)真空镀膜器材由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成得,例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外,污染物的大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来,构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。
        (2)油扩散泵真空系统是使用最广泛的真空系统,其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备,常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析,可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外,真空室内壁的油蒸汽污染,真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是:定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。
       (3)由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是目前获得清洁超高真空的主要抽气手段,能获得低于1.3*10-3Pa的压力。中小型真空镀膜设备真空系统以溅射离子泵作为主泵,大型真空系统以钛升华泵做主泵。超高真空系统要求真空室内壁相当干净,零件表面粗糙度要求高,材料放气量要小。真空室零件要进行严格地清洁处理,不要用手接触零件表面。真空室的漏率也要严加控制。除此外,还要对真空室进行烘烤。
         以上是关于真空镀膜机常见三种清洗方法,真空镀膜机某个环节没有清洗到位,都有可能产生不良产品。在镀膜过程中,出现问题最多的就是镀出不良产品,也最难排查原因,但是大多数还是都是清洗环节不到位。
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